Onderzoek - ontwikkeling en innovatie
18 maart 2026
Imec installeert meest geavanceerde chipmachine ter wereld
Vandaag kondigt imec, een wereldwijd toonaangevend onderzoekscentrum op het gebied van geavanceerde chiptechnologie, de installatie aan van het ASML EXE:5200 High NA EUV-lithografiesysteem. Dit systeem geldt momenteel als de meest geavanceerde chipmachine ter wereld. Dankzij deze stap krijgen imec-partners vroegtijdige toegang tot de nieuwste generatie chiptechnologie.
(Afbeelding: IMEC)
Chips kleiner dan 2 nanometer
Het High NA EUV-systeem wordt ingezet in combinatie met geavanceerde meet- en productietools. Hierdoor kan imec samen met zijn partners werken aan de ontwikkeling van chips kleiner dan 2 nanometer, die betere prestaties leveren voor toepassingen zoals kunstmatige intelligentie en high-performance computing.
Van onderzoek naar industrie
Volgens Luc Van den hove, CEO van imec, is de installatie een belangrijke mijlpaal: “Met de plaatsing van het EXE:5200 High NA EUV-lithografiesysteem in onze 300mm cleanroom in Leuven willen we deze technologie opschalen naar een niveau dat relevant is voor de industrie. Tegelijk ontwikkelen we nieuwe toepassingen voor High NA EUV-patterning.”
Hij benadrukt dat de combinatie van ongekende resolutie, verbeterde overlay-prestaties, hoge doorvoersnelheid en een nieuwe waferstocker zorgt voor meer processtabiliteit. “Dit geeft onze partners een duidelijk voordeel bij het versnellen van de ontwikkeling van chips kleiner dan 2 nanometer.”
Versterking van Europa’s positie
De nieuwe installatie maakt deel uit van de door de Europese Unie gefinancierde NanoIC-pilotlijn. Volgens Van den hove zal het systeem een belangrijke rol spelen in het verder uitbouwen van Europa’s positie als koploper in geavanceerd halfgeleideronderzoek in de komende decennia.
Meer nieuws van Imec
Meer nieuws over Onderzoek - ontwikkeling en innovatie
