19 maart 2012
TNO start internationale samenwerking voor next generation optische chips
Naast de intensieve samenwerking met Raith GmbH Dortmund voor onderzoek naar de verbetering van receptuur en limieten van de electron beam lithografie, heeft TNO nu ook een belangrijke basis gelegd voor een wetenschappelijke samenwerking met de Stanford University op dat gebied.
Stanford University
Op uitnodiging van Raith GmbH heeft Ruud Schmits, researcher bij TNO, op 15 februari een lezing gegeven tijdens de Advanced Nano Lithography Workshop aan de Stanford University in Californië. Dit opende deuren voor een samenwerking met de Stanford University.
Schmits liet zien hoe foutloze millimetergrote optische structuren gemaakt kunnen worden met de Raith electron beam lithografie machine in het TNO Van leeuwenhoek Laboratorium in Delft. Normaalgesproken ontstaan er bij e-beam lithografie stitchingfouten omdat de beeldvelden van de e-beam apparatuur tijdens het productie proces net niet precies op elkaar aansluiten. Een door Raith ontwikkelde softwaretool, waarbij de elektronenbundel stil blijft staan en een tafel met daarop het silicium werkstuk met hoge snelheid en nanometer nauwkeurigheid beweegt. Het belang is groot: het lichtverlies in optische structuren met stitchingfouten is onacceptabel, vanwege ongewenste reflecties aan de onregelmatigheden in de wanden van de optische geleiders. De nieuwe schrijfmethode verhelpt dat probleem.
Stanford is geïnteresseerd in het onderzoek van TNO, omdat in Delft al enkele jaren gewerkt wordt met deze nieuwe toepassing van de techniek, waarbij relatief grote structuren op silicium chips gebouwd kunnen worden met een zeer hoge plaatsing nauwkeurigheid van slechts enkele nanometers. Daarnaast stelt een nauwe samenwerking met Stanford University, TNO in staat andere specialistische aspecten van nanofabricage te leren en toe te passen.
Toepassing medische sector
Met het onderzoek ontwikkelt TNO toepassingen voor de volgende generatie optische chips die gebruikt kunnen worden in onder andere medische instrumenten. Bijvoorbeeld voor het meten van flow, temperatuur en druk in de bloedbaan of zelfs in het hart. Voordeel is onder andere dat deze optische instrumenten met licht werken en geen enkele negatieve invloed uitoefenen op het menselijk lichaam. Dit betekent dat “storende” elektrische signalen die wel negatieve invloed kunnen hebben (zelfs tijdens de metingen) verleden tijd zijn.
