TNO en ASML bundelen krachten voor opschaling van fotonische chips

(Afbeelding TNO)

Schaalbare productie van fotonische chips
De samenwerking richt zich op het opschalen van de productie van fotonische chips door de expertise van beide organisaties te combineren. ASML levert hiervoor onder meer DUV- en I-Line-lithografiescanners, terwijl beide partijen samenwerken aan innovaties op het gebied van lithografie, procescontrole en metrologie.

De pilotlijn wordt daarnaast een gedeelde R&D-omgeving waar technische workshops, gezamenlijke innovatieprojecten en klantdemonstraties plaatsvinden. Hierdoor kan ASML de infrastructuur van TNO benutten voor de verdere ontwikkeling van fotonische productietechnologie.

Europese positie versterken
Na ingebruikname maakt de pilotlijn de volledige productie van geavanceerde Indiumfosfide (InP)-fotonische chips op 6-inch wafers mogelijk. Daarmee krijgt Europa de beschikking over een belangrijke faciliteit voor de opschaling van geïntegreerde fotonica.

Het onderzoeks- en innovatie-ecosysteem is hier al op voorbereid. Binnen het Photonic Integration Technology Centre (PITC) werken TNO, de Technische Universiteit Eindhoven en de Universiteit Twente samen aan de ontwikkeling van nieuwe toepassingen op basis van geïntegreerde fotonica. De samenwerking met ASML moet deze inspanningen verder versterken en bijdragen aan een concurrerende Europese halfgeleiderindustrie.

Arnaud de Jong, Managing Director TNO High Tech Industry, noemt de samenwerking een belangrijke stap voor de Europese chipsector: “Dit partnerschap met ASML versterkt ons streven om Europese unicorns te bouwen binnen de chipindustrie. Door onze R&D-capaciteiten te combineren met apparatuur van wereldklasse, creëren we een unieke industriële omgeving waar de hele industrie van zal profiteren.”

Ook Stanislas Baron, Senior Vice President bij ASML, ziet grote kansen: “Het opschalen van fotonische chiptechnologie vereist een naadloze overgang van grensverleggend onderzoek naar volumeproductie. Door onze lithografiesystemen te integreren in de fabriek van TNO overbruggen we die kloof. Deze samenwerking biedt ons de ideale omgeving om onze processen voor geïntegreerde fotonica te optimaliseren, wat uiteindelijk de marktintroductietijd van deze transformatieve technologie zal versnellen.”