Radarsensoren

Vacuüm-afstandssensor

De absolute interferoMETER 5400-DS en 5600-DS van MicroEpsilon worden gebruikt voor afstandsmetingen met nanometernauwkeurigheid. Inmiddels is de productgroep uitgebreid met nieuwe sensoren met een grote basisafstand van 10 mm (IMP-DS10/90/VAC).

Deze zijn ontworpen voor uiterst nauwkeurige toepassingen in cleanroomomgevingen en in vacuüm, bijvoorbeeld voor metingen aan gecoate wafers. Een niet-magnetische titanium UHV-variant maakt ook gebruik in sterke magnetische velden mogelijk, zoals die voorkomen in de medische technologie in nucleaire spin- of elektronenmicroscopen. Het ontwerp met een straalpad van 90° vermindert de benodigde installatieruimte in hoge mate. Afhankelijk van de keuze van de controller is een lineariteit van < ±50 nm of < ±10 nm mogelijk. De innovatieve absolute interferometers beschikken over uitgebreide aansluitmogelijkheden voor optimale integratie in diverse besturingen en productieprogramma’s. Ze omvatten digitale interfaces zoals Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET en EtherNet/IP, alsmede een analoge uitgang. De volledige configuratie van de controller en zijn sensoren vindt zoals gebruikelijk plaats via de webinterface, zonder extra software.

Meer nieuws van Micro Epsilon BeNeLux
Meer nieuws over radarsensoren
Voorgestelde leveranciers in radarsensoren

Uitgelicht nieuws