Vacuüm-afstandssensor

Deze zijn ontworpen voor uiterst nauwkeurige toepassingen in cleanroomomgevingen en in vacuüm, bijvoorbeeld voor metingen aan gecoate wafers. Een niet-magnetische titanium UHV-variant maakt ook gebruik in sterke magnetische velden mogelijk, zoals die voorkomen in de medische technologie in nucleaire spin- of elektronenmicroscopen. Het ontwerp met een straalpad van 90° vermindert de benodigde installatieruimte in hoge mate. Afhankelijk van de keuze van de controller is een lineariteit van < ±50 nm of < ±10 nm mogelijk. De innovatieve absolute interferometers beschikken over uitgebreide aansluitmogelijkheden voor optimale integratie in diverse besturingen en productieprogramma’s. Ze omvatten digitale interfaces zoals Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET en EtherNet/IP, alsmede een analoge uitgang. De volledige configuratie van de controller en zijn sensoren vindt zoals gebruikelijk plaats via de webinterface, zonder extra software.