Doorstromingsmeters/coriolis

26 april 2011

Doorstromingssensor

Een snelle millimeter doorstromingssensor met CMOSens-technologie van Sensirion is bedoeld voor de regeling van halfgeleider-procesvloeistoffen. Het instrument is geschikt voor doorstromingssnelheden tot 120 ml/min voor op koolwaterstof-gebaseerde vloeistoffen, zoals fotolakken en oplosmiddelen.

De SLQ-QT105 is ontwikkeld voor het verwerken van zuivere vloeistoffen die in de halfgeleiderindustrie worden toegepast. De reactietijd voor metingen ligt rond de 40 ms en de hoogste gevoeligheid geldt voor doorstromingssnelheden beneden 0,05 cc/s (3 ml/min). Bellen worden gedetecteerd binnen het microliterbereik. Het doorstromingskanaal bevat geen bewegende delen. Het instrument heeft fittingen voor 4×3 mm FPA-buizen. De vochtvoerende materialen bestaan uitsluitend uit teflon en kristalglas. Een intelligente digitale interface en robuuste RS485-communicatie wordt aangeboden om lange afstanden te overbruggen en voorziet in buskoppeling.

Beurs Electronics & Automation 2011, Stand 8C015