Verplaatsingssensor

Deze lasersensoren meten de afstand tot of dikte van materialen met een nauwkeurigheid die de komende jaren binnen deze industrie nodig zal zijn. Om die nauwkeurigheid te kunnen halen, zijn speciale CMOS HDLC-sensorchips (high density linear cell) ontworpen. De sensor wordt toegepast om bijvoorbeeld de dikte van, oneffenheden op, of de positie van glassubstraten te meten. Daarnaast kan de sensor worden gebruikt bij de kwaliteitscontrole van miniatuurcomponenten of voor het meten van de excentriciteit van precisiewalsen. De hoog-nauwkeurige variant van deze sensor heeft een meetbereik van 1 mm, een maximale resolutie van 10 nm en een maximale bemonsteringsfrequentie van 100 kHz. Daarnaast zijn standaardvarianten beschikbaar met een groter meetbereik.