MEMS-druksensor

De af fabriek gekalibreerde sensor meet de absolute druk en levert een proportioneel analoog uitgangssignaal. De kracht van de MLX90830 zit hem in de baanbrekende Triphibian-technologie van Melexis, die de MEMS-sensor niet alleen in staat stelt om tot ver boven 5 bar nauwkeurige metingen te verrichten, maar dit ook in contact met vloeistoffen kan doen. Deze innovatieve combinatie van detectie van hoge drukken met de geschiktheid voor gassen en vloeistoffen is bereikt door de unieke constructie van de MLX90830, bestaande uit een hangende cantilever in een SO16-behuizing, waarbij het membraan aan het uiteinde zit. Dit sensorontwerp resulteert in een ongevoeligheid voor drukpieken tot 2000 bar/msec en een statisch burstniveau tot 210 bar. De MLX90830 bevat een sensor-uitleescircuit, digitale hardware, spanningsregelaars en analoge uitgangsdrivers. Piëzoresistieve elementen in het membraan vormen een brug van Wheatstone om een uitgangssignaal te genereren. Dit signaal wordt versterkt en omgezet in een digitaal formaat, zodat de 16-bit digitale signaalprocessor temperatuurcompensatie kan toepassen voordat het meetresultaat wordt aangeboden via een analoge uitgang. De sensor is uitgerust met geavanceerde beschermingsmechanismen tegen zowel overspanning (boven +40 V) als sperspanning (onder –40 V).